隨著我國空間科學技術的發(fā)展，真空測量技術也得到長足進步，已廣泛應用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業(yè)。特別是我國載人飛船、登月工程、火星探測等一系列國防新領域的飛速發(fā)展，對真空測量提出了更高的要求，相應的高精度、高可靠性的真空計量校準需求也應運而生。
真空系統(tǒng)校準裝置的設計組成
為滿足航天器熱試驗常用真空計及標準漏孔的校準需要，研制了多功能真空校準裝置。多功能真空校準裝置可用于進行熱偶真空計、壓阻規(guī)、電容薄膜真空規(guī)、潘寧規(guī)、熱陰極電離規(guī)等真空測量傳感器的校準，同時也可以用于滲透型真空漏孔的校準。
1、裝置概述
多功能真空校準裝置主要由高真空校準室、低真空校準室/ 穩(wěn)壓室、真空抽氣系統(tǒng)、漏孔校準系統(tǒng)、電氣控制及信號采集系統(tǒng)組成。
真空系統(tǒng)校準裝置的主要性能指標：
極限真空度
高真空校準室極限真空度9.3×10-8 Pa，下游室極限真空度1.1×10-8 Pa，低真空校準穩(wěn)壓室極限真空度4.2×10-7 Pa。
2、校準真空室動態(tài)真空度穩(wěn)定性能
根據相關國家標準對本裝置校準范圍內的校準室在進行動態(tài)比對校準時的真空度穩(wěn)定性能進行檢測，從133kPa～9.5×10-5 Pa 范圍內選擇20 個壓力點，每個檢測點停留5 分鐘，測試結果表明在133kPa～9.5×10-2 Pa 范圍內，穩(wěn)定度可控制在2%以內， 在9×10-2 Pa～9.5×10-5 Pa 范圍內，穩(wěn)定度可控制在1%以內。
3、系統(tǒng)不確定度分析
綜合考慮GP370 離子規(guī)的不確定度指標和校準裝置的固有特性，系統(tǒng)裝置標準不確定度為4.2%，數據處理引入的不確定度為0.5%，整個裝置的合成不確定度為4.3%， 擴展不確定度為8.6%。
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