真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門(mén)、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。
該真空系統(tǒng)出廠時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過(guò)濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。
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