• 適用于在 10-2 至 10-4 mbar（0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-4 Torr）壓力范圍內(nèi)需要高抽速的應(yīng)用
• 在必須避免因空氣進(jìn)入或抽取的介質(zhì)泄漏而可能造成污染的情況下使用
• 吸入或抽取高純度氣體
• 在不得由電機(jī)風(fēng)扇循環(huán)通風(fēng)的潔凈室中使用

RUVAC 羅茨泵是low-e鍍膜行業(yè)中的標(biāo)配設(shè)備。當(dāng)與現(xiàn)有的油封 SOGEVAC 泵結(jié)合使用時，它們可在進(jìn)出樣室中實現(xiàn)較短的抽氣時間。當(dāng)與干式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵結(jié)合使用時，它們可確保在工藝室中實現(xiàn)干燥、可靠和無故障的真空。

RUVAC 羅茨泵應(yīng)用廣泛，可在特別需要快速抽空的應(yīng)用中實現(xiàn)盡可能短的周期時間，例如在進(jìn)出樣室或高速食品包裝中。

RUVAC 羅茨泵在鍍膜工藝流程前可快速達(dá)到低于 10-3 mbar 的壓力，抽空燈具和絕緣表面，滿足工藝要求。

RUVAC 羅茨泵還在長晶設(shè)備中用于制造單晶硅，單晶硅是制造半導(dǎo)體和太陽能電池的基本材料。我們很樂意為您提供我們廣泛的產(chǎn)品以及應(yīng)用支持和專業(yè)技術(shù)。